真空鍍膜系統
Vac Coat 真空鍍膜系統的產品範圍涵蓋從低/高真空濺射鍍膜機,如 DSR1 和 DST1,通常用於電子顯微鏡成像中的樣品製備,到高真空濺射鍍膜/熱蒸發系統,如 DST2-TG 或 DST3-T,這些系統具備包括等離子清潔器在內的多項選配功能,主要用於薄膜沉積的研究用途。
三靶渦輪泵濺射鍍膜機 DST3-T 是一種多真空鍍膜機系統,它將熱蒸鍍儀和濺射鍍膜機整合在一個緊湊的台式系統中。高真空系統適用於多種材料的沉積。三磁控管靶台濺射鍍膜機可在蒸鍍和濺射狀態(非同時)之間輕鬆切換。
濺射鍍膜機- DSR1 是一種架構緊湊的鍍膜系統,可在不導電或導電性差的樣品上鍍金(Au)、鈀(Pd)、鉑(Pt) 和金/鈀(Au/Pd) 等貴金屬薄膜。可在快速循環時間內形成細粒度均勻的薄膜。
DTE 是一種台式熱蒸鍍系統,用於在基底上沉積薄層材料,以進行研究和電子顯微鏡調查。
雙靶渦輪泵濺射鍍膜機和手套箱用熱蒸鍍器DST2-TG 是一種多真空鍍膜系統,它將熱蒸鍍器和濺射鍍膜機整合在一個小型的台式系統中,可通過Wi- Fi 連接進行遠端系統控制,並可通過觸控螢幕和電腦進行控制。
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