截面拋光機
當電壓施加到離子槍並注入氬氣時，會產生等離子體，並通過加速電壓將離子束定向到樣品上，從而開始蝕刻過程。
如果樣品位於金屬掩膜後面，並且離子束定向到金屬掩膜和樣品，金屬掩膜的屏蔽效果將最小化束損傷，從而獲得乾淨的橫截面蝕刻結果。
如果樣品位於金屬掩膜後面，並且離子束定向到金屬掩膜和樣品，金屬掩膜的屏蔽效果將最小化束損傷，從而獲得乾淨的橫截面蝕刻結果。
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