桌上型掃描式電子顯微鏡

產品型號：EM-40

EM-40 是 COXEM 最新推出的桌上型掃描電子顯微鏡。 EM-40 配備了超快的第五代訊號處理技術，可提供影格速率高達 13 fps 的高品質成像。四種成像模式（快速、慢速、超快速和照片）可讓使用者選擇最適合其應用的影像品質和速度。

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產品特點
產品規格
Features
Specifications

應用

電子槍	鎢絲 (W)
空間解析度	< 5nm
放大倍率	x20 至 x250,000 （數位變焦 x1 ~ x12）
加速電壓	1 ~ 30kV
樣品台	X：40 mm,Y：40 mm,Z：mm,，三軸電動式
探測器	SE, BSE*
真空模式	高真空、低真空、可調壓力
真空系統	渦輪幫浦（80 公升）+ 旋轉幫浦（100 公升）
樣品支架	多引腳短截面支架
尺寸（寬 × 長 × 高）	315 × 560 × 580mm, 81.5kg
功能	全景 2.0
	自動對焦
	1 秒自動亮度和對比度
	自動燈絲調節
	自動啟動
	訊號混合
	三重顯示和保存
	線條輪廓
	影像濾鏡
	線路測量
	色彩測量
數據輸出格式	JPEG、TIFF、BMP
可選購*	Navi CAM
	低真空（20Pa），可調壓力（10 / 20 / 30 Pa）
	冷卻台
	隔膜幫浦

application

The EM-40 represents COXEM's latest addition to their expanding family of Tabletop SEMs. The EM-40 comes with ultra-fast 5th-generation signal processing technology and provides high-quality imaging at frame rates of up to 13 fps. Four imaging modes (Fast, Slow, UltraFast, and Photo) allow the user to choose the image quality and speed that best fits their application.

Electron gun	Tungsten filament (W)
Spatial resolution	< 5nm
Magnification	x20 to x250,000 (Digital zoom x1 ~ x12)
Accelerating voltage	1 ~ 30kV
Sample stage	X：40 mm,Y：40 mm,Z：mm,，3-axis motorized
Detector	SE, BSE*
Vacuum mode	High vacuum, Low vacuum, Variable pressure
Vacuum system	Turbo pump (80L) + Rotary pump (100L)
Sample holder	Multi-pin stub holder
Dimension (W × L × H)	315 × 560 × 580mm, 81.5kg
Features	Panorama 2.0
	Auto focus
	1 Second auto brightness & contrast
	Auto filament adjustment
	Auto start
	Signal mixing
	Triple display & Save
	Line profile
	Image filtering
	Line measurement
	Color measurement
Data output format	JPEG、TIFF、BMP
Options*	Navi CAM
	Low vacuum (20Pa), Variable pressure (10 / 20 / 30 Pa)
	Cool stage
	Diaphragm pump

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