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BSE 探測器

產品型號：BSE Detector

反向散射電子（BSEs）是主電子束與樣品之間的引起相互作用所產生的高能量電子。

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產品特點
規格
Features
Specifications

反向散射電子（BSEs）是主電子束與樣品之間的引起相互作用所產生的高能量電子。

4 通道半導體型 BSE 探測器
清晰的金屬邊界影像
比 SE 探測器具有更多的立體影像
EM 系列和 CX 系列均為選配配置
透過數位板輕鬆控制軟體。
使用 LV 模式拍攝的無濺鍍試樣清晰影像。

解析度	10nm
通道	四通道固定型
圖像	形貌和構圖功能，雙顯示幕

Backscattered electrons (BSEs) are high-energy electrons generated as a result of elastic interactions between the primary electron beam and the sample.

4 Channel Semiconductor Type BSE Detector
Clear Image about the boundary of metal
Much Stereoscopic Image than SE detector
Optional for both of EM Series and CX Series
Easy controlled S/W by Digital board
Clear Image of Non-Coating Specimen with LV mode

Resolution	10nm
Channels	4 channels solid type
Image	Topography and composition functions, Dual display

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